• Computergestütztes Profilometer (Dektak) zur Ermittlung von Schichtdicken und Oberflächenstrukturen
  • Optisches Mikroskop MFK II zur Inspektion und geometrischen Vermessung von Schichtstrukturen
  • 4-Spitzen-Messplatz (Süss PM)
  • C-V-(Kapazitäts- Spannungs-) Messgerät (HP4279A, 1MHz)
  • Semiconductor Parameter Analyzer (HP4155A) zur rechnergesteuerten Vermessung elektrischer Kennlinien
  • Curve-Tracer (Tektronix) zur analogen Vermessung elektrischer Kennlinien

Insgesamt stehen 6 Messplätze zur Verfügung.